信息摘要:
杭州中欣晶圓半導體股份有限公司 杭州中欣晶圓半導體股份有限公司成立于2017年,坐落在杭州市錢塘區大江東產業集聚區,主要從事高品質集成電路用半導體晶圓片的研發與生產制造。實現了從半導體單晶硅棒拉制到100mm~300mm半導體晶圓片加工的完整生產。...
杭州中欣晶圓半導體股份有限公司
杭州中欣晶圓半導體股份有限公司成立于2017年,坐落在杭州市錢塘區大江東產業集聚區,主要從事高品質集成電路用半導體晶圓片的研發與生產制造。實現了從半導體單晶硅棒拉制到100mm~300mm半導體晶圓片加工的完整生產。擁有9條8英寸生產線、2條技術成熟的12英寸生產線,具備年產能240萬片/300mm、480萬片/200mm、480萬片/150mm。
半導體生產車間對空氣潔凈技術提出了高要求,以確保產品生產良率達到99.99%。
解決方案
Solutions
華凈科技氣態污染物AMC空氣過濾解決方案
面對中欣晶圓對空氣潔凈度的要求,華凈科技通過采樣、現場勘測、技術診斷,確認氣態污染物主要成分及濃度,有針對性的提出了最優的解決方案 - 氣態污染物AMC空氣過濾解決方案。在保證能耗降低的同時,達到了最佳過濾效率。
其中選用了除酸化學過濾器、除堿化學過濾器等平板型氣相過濾器。
并在發貨前對過濾器進行了性能檢測。
FFU氣相過濾器現場安裝示意圖
平板型氣相過濾器是一種高效去除空氣中顆粒和氣態分子污染物的復合式過濾器,廣泛應用在AMC污染腐蝕控制工程中,主要搭配風機過濾機組(FFU)使用,也可作為送風口或回風口的化學過濾組件,復合式的結構設計使濾材充分發揮過濾功能,根據現場環境的AMC種類和濃度,定制化設計過濾材料和框架材料,讓空氣更潔凈。
平板型氣相過濾器
產品優勢:
?、?使用方便,安裝維護簡單;
?、?高效過率,針對不同污染物定制配方;
?、?低阻力,無遞增壓損,節能環保;
?、?無灰塵釋放,具有一定的粉塵過濾效果;
?、?使用壽命長,通過化學吸附法去除氣態污染物,氣態污染物與濾料發生化學反應,有效杜絕空氣環境的二次污染,永久去除氣態污染物。
華凈科技化學過濾器檢測平臺專門針對化學過濾器過濾性能的檢測,通過模擬受控污染環境內過濾器過濾裝置,檢測過濾器在不同污染物濃度環境下過濾效率、壓阻、容污量、持久性等性能的變化,幫助企業設計開發出高效改善環境空氣質量的過濾產品。符合標準:ISO10121-2、T/CRAA438.2
華凈科技氣相過濾器全尺寸檢測臺
經檢測合格的氣相過濾器